1. 반도체 미세 공정의 절대 열쇠, EUV 노광장비가 무엇인가?얼마 전 엔비디아의 회장인 젠승황이 내한했을 때 "제발 반도체 좀 많이 만들어주세요"라고 말한 적이 있습니다. 현대 산업의 쌀로 불리는 반도체 제조 과정에서 가장 정밀한 단계를 꼽으라면 단연 빛으로 회로를 그리는 노광(Lithography) 공정입니다. 반도체 칩 안에 얼마나 많은 회로를 촘촘하게 집어넣을 수 있느냐에 따라 성능과 전력 효율이 결정되기 때문입니다. 최근 수년간 글로벌 반도체 시장의 생사고락을 가르는 핵심 장비로 떠오른 것이 바로 EUV(극자외선) 노광장비입니다.EUV 장비는 기존에 사용하던 불화아르곤(ArFi) 액침 장비보다 빛의 파장이 14분의 1 수준으로 짧은 $13.5\text{nm}$의 극자외선을 사용합니다. 빛의 ..